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Wolfram-Dickschichtmetallisierungen im Simultaneinbrand mit Aluminiumnitrid
Diese Arbeit hatte das Ziel, wesentliche Probleme bei der Vergesellschaftung von W mit der AlN-Keramik durch die Zusammensetzung der W-Metallisierungspaste in Kombination mit der thermischen Prozesstechnik zu lösen. Schwerpunktmäßig wurden dabei die Einflüsse der Partikelgröße von W und den Sekundärphasen auf das Sinterverhalten und den Flächenwiderstand von W-Metallisierungen untersucht. Weiterhin wurden die durch die Prozesstechnik und die Materialzusammensetzungen hervorgerufenen Fremdphasen ...

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